HOCHPRÄZISE AUTOMATION FÜR
DIE TECHNOLOGIEN VON MORGEN.
WEIL ECHTE INNOVATION MEHR
PRÄZISION BRAUCHT ALS JE ZUVOR.
Der Markt für hochpräzise Automatisierungssysteme wächst rasant. Immer mehr Anwendungen stoßen an physikalische und technologische Grenzen – dort, wo mikrometergenaue Lösungen schlicht nicht mehr ausreichen. Unsere hochpräzisen Automationslösungen und Komponenten helfen Ihnen, Bewegungs-, Montage-, Fertigungs-, Mess- und Inspektionsprozesse mit Genauigkeiten bis in den Sub-Nanometerbereich zu realisieren. So kann sich Ihr Team auf das Wesentliche konzentrieren – dort, wo klassische Automation endet und echte Innovation beginnt.
VON MIKROMETERBEWEGUNGEN BIS
SUB-NANOMETERBEWEGUNGEN:
PRÄZISION FÜR LIFE-SCIENCES
UND HALBLEITERTECHNIK.
Unsere Kerntechnologien stehen für Präzision, die Ihre Abläufe schneller, stabiler und nachhaltiger gestaltet. Mit Lösungen, die vom Mikrometer- bis in den Sub-Nanometerbereich reichen, schaffen wir schon heute die Grundlage für ultrapräzise und reproduzierbare Fertigungs- und Positionierprozesse in Life-Sciences und in der Halbleitertechnik. So eröffnen wir Ihrer Produktion in zukunftsweisenden Schlüsselindustrien und bei disruptiven Technologien völlig neue Dimensionen technologischer Leistungsfähigkeit.
Beispielanwendung aus Life-Science
Präzise Systemgenauigkeiten im Step-and-Settle-Betrieb
bis in den Mikrometerbereich.
Für anspruchsvolle Anwendungen wie hochpräzise Dispense-Prozesse im Life-Sciences-Bereich haben wir ein System entwickelt, das Verfahrwege von 250 µm in weniger als 70 ms bei einem Jitter von < ±1 µm ermöglicht.
Beispielanwendung aus der Halbleiterfertigung
Präzise Systemgenauigkeiten in der Position
bis in den Nanometerbereich.
Für die Halbleiterindustrie haben wir eine Lösung realisiert, die in einer Elektronenstrahllithografie-Anwendung einen Jitter von nur 5 nm bei weniger als 1 µT magnetischer Streuung erreicht – und so die Grundlage für ultrapräzise und reproduzierbare Prozesse schafft.
„Erfahrung trifft Innovation, Stabilität trifft Dynamik – kraftvoll und ausgewogen verbinden sich scheinbare Gegensätze. Denn wenn Genauigkeit über Innovation entscheidet, braucht es Systeme, die immer wieder neue Maßstäbe setzen.
Und Partnerschaften, die mit Erfahrung, Verlässlichkeit, Mut und Präzision vorausgehen.“
Uwe WEISS, CEO WEISS World, über die Technologiepartnerschaft mit YiNGUAN.
Hochpräzise Automation braucht starke Partnerschaften. Unsere Technologieallianz mit YiNGUAN.
Mehr über die Technologie-partnerschaft von YiNGUAN und WEISS erfahren.
IHRE VORTEILE AUF EINEN BLICK. WARUM UNSERE KUNDEN UNS UND
UNSEREN LÖSUNGEN VERTRAUEN?
Vorteil 01
Gezielter Zugang zu spezialisiertem Know-how.
Durch die Partnerschaft mit YiNGUAN erweitern wir für Sie unsere Kompetenzen durch Wissen und Erfahrung in der Präzisionstechnologie, Sensorik und Softwareentwicklung für Direktantriebe, Piezoaktoren, Luftlager und hybride Systeme mit höchster Auflösung.
Vorteil 02
Schnellere Innovationsprozesse und Markteinführung.
Die Kombination komplementärer Stärken aus Anwendungswissen und Technologien in der Konstruktion ermöglicht es, Entwicklungs- und Kundenprojekte schneller und ressourcenschonender zu realisieren – selbst bei großen Stückzahlen.
Vorteil 03
Ergänzung technologischer Kompetenzen.
Unsere Applikations- und Serviceerfahrung wird durch das spezialisierte Know-how von YiNGUAN in der Sub-Mikrometer- und Nanometer-Präzision gezielt ergänzt. Dies ermöglicht es uns zudem, kundenspezifische Lösungen aller Genauigkeitsklassen gemeinsam zu entwickeln.
Vorteil 04
Zukunftssichere und ganzheitliche Lösungen.
Wir schaffen Lösungen für unsere Kunden, die für Schlüsselindustrien und disruptive Technologien in allen Hightech-Branchen langfristig ausgelegt sind – ob in der industriellen Automatisierung, Mikromontage und -fertigung, Medizintechnik, Halbleitertechnik oder Photonik.
HOCHPRÄZISE POSITIONIERKOMPONENTEN.
Ob in der Halbleiterfertigung, bei photonischen Systemen oder in der Laborautomation – viele disruptive Entwicklungen sind nur realisierbar, wenn mechanische Bewegung exakt, reproduzierbar und störungsfrei erfolgt. Genau hier setzen unsere Technologien und Produkte an. Hochpräzise Positionierkomponenten bilden die Grundlage für ultrapräzise Bewegung in Systemen. Die Komponenten sind modular aufgebaut und nahtlos integrierbar und ermöglichen Bewegungs-, Montage-, Fertigungs-, Mess- und Inspektionsprozesse auf höchstem Niveau – von der Forschung bis zur Serienproduktion.
MAGNETISCHE DIREKTANTRIEBE.
Magnetische Direktantriebe stehen für höchste Präzision und Dynamik in der Automation. Direktangetriebene Linear- und Rotationssysteme ermöglichen reibungsfreie, hochdynamische Bewegungen mit Genauigkeiten im Sub-Mikrometerbereich. Luftlagersysteme steigern diese Performance noch weiter: Durch die Kombination von Direktantrieb und vorgespannten Luftlagern bieten sie unvergleichliche Laufruhe, Positionier- und Ablaufgenauigkeiten – perfekt für anspruchsvollste Automationsaufgaben.
Precision
Motion
Systems
LTS165
Linearachse
- Einachsig
- Verfahrbereich: 100 – 600 mm
- Bidirektionale Wiederholgenauigkeit: ±0,5 µm
- Max. Beladung: 40 kg
Anwendungsbereiche
Laserschneiden, Halbleiterproduktion, Flachbildschirmfertigung, industrielle Automation
Single-Axis Stage
Precision
Motion
Systems
MZH 400
Schwerlast-Z-Achse
- Einzelne Z-Achse
- Verfahrbereich: 25 mm
- Bidirektionale Wiederholgenauigkeit: ±0,5 µm
- Max. Beladung: 40 kg
Anwendungsbereiche
Halbleiterproduktion, Flachbildschirmfertigung, Ausrichtung von Lichtwellenleitern
SIngle-Axis Stage
Precision
Motion
Systems
PL90
Flache integrierte XY-Achse
- Berührungsfreier Direktantrieb mit Linearmotor für hohe Dynamik
- Optischer Linearencoder für höchste Präzision
- Hochsteife, zwangsgeführte Kreuzrollenführung
- Hervorragende Positioniergenauigkeit und dynamische Leistung
Anwendungsbereiche
Halbleiterproduktion, Flachbildschirmfertigung, Ausrichtung von Lichtwellenleitern, Biomedizin
XY Stage
Precision
Motion
Systems
PLA90
Flacher XY-Tisch mit Öffnung
- Berührungsfreier Direktantrieb mit Linearmotor für hohe Dynamik
- Optischer Linearencoder für höchste Präzision
- Hochsteife, zwangsgeführte Kreuzrollenführung
- Hervorragende Positioniergenauigkeit und dynamische Leistung
- Große Mittenöffnung
Anwendungsbereiche
Halbleiterproduktion, Flachbildschirmfertigung, optische Ausrichtung von Glasfasern, Biomedizin, doppelseitige Bearbeitung, genetische Detektion
XY Stage
Precision
Motion
Systems
ARD120
Luftlager-Drehtisch
- Einzelne Θ-Achse, Luftlager-Design
- Bidirektionale Wiederholgenauigkeit: ±0,5 arcsec
- Durchmesser: 120 – 220 mm
- Mittenöffnung: 10 – 50 mm
- Max. axiale Beladung: 8 – 66 kg
- Max. radiale Beladung: 4 – 36 kg
- Drehzahl: bis zu 1.000 1/min
Anwendungsbereiche
Wafer-Inspektion, hochpräzise Messtechnik, Röntgendiffraktionssysteme, optische Inspektion und Fertigung, MEMS- und Nanotechnologie-Geräteherstellung
Air-Bearing Stage
Precision
Motion
Systems
PART100
Luftlager-Drehtisch
- Einzelne Θ-Achse, Luftlager-Design
- Bidirektionale Wiederholgenauigkeit: ±1 arcsec
- Durchmesser: 100 mm
- Mittenöffnung: 25 mm
- Max. axiale Beladung: 53 kg
- Max. radiale Beladung: 17 kg
- Drehzahl: bis zu 600 1/min bei 48 V
Anwendungsbereiche
Wafer-Inspektion, hochpräzise Messtechnik, Röntgendiffraktionssysteme, optische Inspektion und Fertigung, MEMS- und Nanotechnologie-Geräteherstellung
Air-Bearing Stage
Precision
Motion
Systems
LART150
Luftlager-Drehtisch
- Luftlager-Design
- Bidirektionale Wiederholgenauigkeit: ±1 arcsec
- Durchmesser: 150 mm
- Mittenöffnung: 75 mm
- Max. axiale Beladung: 80 kg
- Max. radiale Beladung: 30 kg
- Drehzahl: bis zu 800 1/min
Anwendungsbereiche
Halbleiterproduktion, Laser-Anwendungen
Air-Bearing Stage
Precision
Motion
Systems
MZT90
Maglev-ZΘ-Achse
- Z- und Θ-Achsen, 360°-Endlosrotation
- Geeignet für 12-, 8- und 6-Zoll-Wafer
- Bidirektionale Wiederholgenauigkeit: ±0,3 µm/1 mm (Z-Achse); ±2 arcsec (Θ-Achse)
- Geradheit der Z-Achse: 2 µm
- Vertikaler Verfahrbereich: bis zu 30 mm
- Drehzahl: bis zu 150 1/min
Anwendungsbereiche
Wafer-Prozesskontrollanwendungen wie optische Messung kritischer Dimensionen und Dünnschichtmesstechnik; Wafer-Ritzen, Reinigen und Schneiden
ZΘ Stage
Precision
Motion
Systems
L4S210
Gestapeltes XYZΘ-System
- Gestapeltes 3-Achs-System mit Orthogonalitätsdesign
- System-Ebenheit und -Geradheit bis in den Sub-Mikrometerbereich
- Z-Achse: vertikale magnetische Levitation zur Schwerkraftkompensation für hohe Positioniergenauigkeit; vertikaler Inkrementalgeber mit bis zu 5 nm Auflösung; vertikaler mechanischer Hub bis zu 30 mm
Anwendungsbereiche
Wafer-Prozesskontrollanwendungen wie optische Messung kritischer Dimensionen und Dünnschichtmesstechnik; Wafer-Ritzen, Reinigen und Schneiden
Multi-Axis Stage
Precision
Motion
Systems
HS1000 METIS-
Mehrachs-Bewegungssystem
- Integriertes 5-Achs-System mit Orthogonalitätsdesign
- X/Y-Achse: Hochleistungs-Luftlagerführung für exzellente dynamische Ebenheit über den gesamten Verfahrweg
- Z-Achse: vertikale magnetische Gewichtskompensation, vertikaler mechanischer Hub bis zu 30 mm
- Θ-Achse: Rotationsgeschwindigkeit bis zu 150 1/min (360°-Rotation)
Anwendungsbereiche
Wafer-Prozesskontrollanwendungen wie optische Messung kritische Dimensionen und Dünnschichtmesstechnik; Wafer-Ritzen, Reinigen und Schneiden
Multi-Axis Stage
Precision
Motion
Systems
VLS200
XY-Achse
- Für Ultrahochvakuum-Umgebungen bis zu 10⁻⁵ Pa
- Vakuum-Linearmotorantrieb für geringe Ausgasungsrate und niedrige Wärmeentwicklung
- Einzigartige Abschirmung des Magnetfelds der Linearmotoren
- Optionale nichtmagnetische Materialien, mit einer Gesamtabschirmung von Magnetfeldern bis in den nT-Bereich
Anwendungsbereiche
Elektronenstrahlinspektion, Vakuum-Bonding, Rasterelektronenmikroskopie
Vacuum Stage
PIEZOELEKTRISCHE ANTRIEBE.
Piezoelektrische Lösungen ermöglichen durch Ihr Funktionsprinzip, kleinste Bewegungen mit höchster Genauigkeit im Sub-Nanometerbereich durchzuführen. In Kombination mit Linearmotorsystemen besteht damit die Möglichkeit, Fehler in der Ablaufgenauigkeit zu kompensieren oder die bewegten Produkte höchstgenau auszurichten. Auch für hochdynamische Kurzhubanwendungen wie z. B. Autofokussysteme in der Mikroskopie sind Piezoantriebe ideal geeignet. Über die Anwendung als Aktor (Bewegung erzeugend) hinaus können Piezos auch als Sensoren (Spannung erzeugend) eingesetzt werden.
Precision
Motion
Systems
Piezoelektrischer
Trägheitsmotor
- Hochgeschwindigkeitsbewegung
- Hohe Auflösung
- Kompakte Bauweise
- Geeignet für Hochvakuum-Umgebungen
Anwendungsbereiche
optische Achsen, hochgenaues Halbleiterequipment, präzise medizinische Testgeräte
Piezo Inertia Motor
Precision
Motion
Systems
Piezoelektrische
Schrittmotor-Achse – ZΘΘ
- Verwendet piezoelektrische Schrittmotoren als Versteller mit hoher Antriebskraft und Haltekraft
- Parallele Mehrachsensteuerung
- Großer Verfahrbereich im Millimeterbereich
- Integrierter hochgenauer Encoder mit Nanometerauflösung
Strukturausrichtung, nichtmagnetische Umgebungen, Vakuum ohne Wärmeentwicklung, hochgenaue Halbleitergeräte, hochgenaue medizinische Testgeräte
Piezo Nano-Stage
Precision
Motion
Systems
A-136.50
Feldbus-Piezoverstärker
- 36-Kanal-Piezoverstärker, Open Loop
- Flexible Optionen für verschiedene Kanalanzahlen
- 0 ~ 150 V Spannungsausgang, geeignet für piezoelektrische Aktoren
- Unterstützt EtherCAT-Bus
Anwendungsbereiche
optische Linseneinstellung, Präzisionsbearbeitung, hochgenaue Halbleitergeräte, hochgenaue medizinische Testgeräte
Piezo Motor Driver
Precision
Motion
Systems
C-90x Serie
Servoantrieb und Controller
- Multikanal-Servosteuerung für Piezomotoren
- Flexible Optionen für verschiedene Kanäle
- Unterstützt inkrementelle Linearmaßstäbe
- Digitale Steuerung über Host-Kommunikation
Anwendungsbereiche
präzise Linsenausrichtung, Probenpositionierung in Elektronenmikroskopen, Halbleitertestgeräte, hochgenaue medizinische Prüfgeräte
Piezo Motor Driver
Precision
Motion
Systems
Piezo-Chip-
Aktuator
- AC-Lebensdauer: 10⁹ Zyklen
- Betriebsspannung: −20 bis +150 V
- Reaktionszeit im Mikrosekundenbereich
- Vakuumkompatibel bis 10⁻⁶ Pa
- Subnanometer-Auflösung
- Curie-Temperatur: 230 °C
Anwendungsbereiche
industrielle Automation, Life-Sciences, wissenschaftliche Forschung, Halbleiterausrüstung, optisches Ausrichten
Monolithic Piezo Actuator
Precision
Motion
Systems
A5 Serie
Vorgespannter Piezo-Aktor
- 1000 N Schubkraft
- Piezoelektrische Keramik mit einer Lebensdauer von einer Milliarde Zyklen
- Subnanometer-Auflösung
- Einfache Konstruktion, kompakte Baugröße
- Vakuumkompatibel bis 10⁻⁵ Pa
Anwendungsbereiche
statische und dynamische Präzisionspositionierung, Laserstrahl-Steuerung, faseroptische Ausrichtung, Mikro- und Nanotechnologie
Preloaded Piezo Actuator
VOICE-COIL-ANTRIEBE.
Voice-Coil-Antriebssysteme stehen für herausragende Präzision und schnelle Reaktionszeiten. Diese linearen und rotativen Direktantriebe ermöglichen wegen der geringen bewegten Masse extrem dynamische Bewegungen mit sehr hoher Genauigkeit. Prinzipbedingt eignen sich diese Antriebe für Bewegungen mit begrenztem Hub (typisch bis ca. 60 mm). In Kombination mit Führungssystemen und Encodern bieten sie eine exzellente Laufruhe und Wiederholgenauigkeit, die in sensiblen Branchen wie der Halbleiterfertigung, der Medizintechnik oder der Photonik unverzichtbar sind. Kurze Hübe in Verbindung mit Festkörpergelenken sind darüber hinaus in der Lage, hochdynamische Bewegungen ohne jeden Verschleiß zu ermöglichen, und damit ideal für Autofokusanwendungen.
Precision
Motion
Systems
Zylindrischer
Voice-Coil-Motor
- Kompaktes Design
- Hohe Geschwindigkeit und Beschleunigung
- Hohe Kraft und dynamische Reaktionsfähigkeit
- Hervorragende Positioniergenauigkeit bis in den Nanometerbereich
Anwendungsbereiche
ultrapräzise Positioniersysteme, Halbleiterfertigung, High-End-Maschinen, optische Elektronenmikroskope, Vibrationsplattformen, aktive Vibrationsdämpfungssysteme
Voice Coil Motor
Precision
Motion
Systems
Planarer Voice-Coil-Motor
mit Wasserkühlung
- Integriertes Wasserkühlmodul für hohe Kühlleistung, Zuverlässigkeit und lange Lebensdauer
- Extrem hohe Kraftdichte bei sehr geringer Oberflächentemperatur, mit höherer Dauer- und Spitzenkraft
- Geeignet für Hochvakuum-Umgebungen
Anwendungsbereiche
Vakuumausrüstung, Medizintechnik, Halbleitergeräte, Automobilindustrie
Water-Cooling Motor
Precision
Motion
Systems
Voice-Coil-
Motor-Modul
- Hochdynamisches, berührungsloses Direktantriebssystem mit Voice-Coil-Motor
- Hochpräziser optischer Linearencoder
- Hervorragende Positioniergenauigkeit und dynamische Leistung
- Modularer Aufbau, anpassbar an kundenspezifische Anforderungen
Anwendungsbereiche
Medizintechnik, Halbleitergeräte, Automobilindustrie
Motor Module
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EINFACHE INTEGRATION
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Präzision benötigt nicht nur eine ausgezeichnete Mechanik, sondern auch ausgefeilte Steuerungstechnik und Software. Nur bei Betrachtung des Gesamtsystems werden die besten Ergebnisse erreicht – langsame Bewegungen mit konstanter Geschwindigkeit, geringste Bahnabweichungen oder absolute Positionsstabilität. Die Motion-Control-Lösungen von ACS bieten höchste Auflösung und Dynamik und sind perfekt anpassbar und integrierbar.
MASSGESCHNEIDERTE POSITIONIERSYSTEME.
Die Entwicklung kundenspezifischer Systeme ist einer unserer Schwerpunkte: Individuelle Lösungen, die sich nahtlos in Ihre Prozesse integrieren, beschleunigen die Automatisierung von Anwendungen in Schlüsselindustrien wie Lithografie, Wafer-Inspektion, Mikromontage oder optischer Justage – und sie sind die Grundlage für die Technologien von morgen. Unsere hochpräzisen Bewegungs- und Positioniersysteme entstehen durch das perfekte Zusammenspiel eigener Präzisionskomponenten und -technologien, intelligenter Regelungstechnik und jahrzehntelanger Engineering-Erfahrung – von Einzelachsen bis zu komplexen Mehrachssystemen mit integrierter Motion-Control.
Kundenspezifische Lösungen
Wafer-to-Wafer (W2W)-Bonding-Technologie
W2W-Bonding („Wafer-to-Wafer“) ist eine Schlüsseltechnologie in der Halbleiterfertigung, die das präzise Verbinden von Wafer zu Wafer ermöglicht. Hierzu wird eine Positionierung mit allerhöchster Genauigkeit benötigt, die wir in unserem kundenspezifischen System mit 18 Achsen und einer Systemgenauigkeit von 30 nm umsetzen.
- Anwendungsbereich: Produktion von LiDAR-Modulen
- Branche: Halbleiter
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- Franz Oebeles, Vice President Precision Systems at WEISS World
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